本製品は、高度に設計された不等間隔溝回折格子を用いて50eVから超軟X線領域のX線発光スペクトルを、XPSやEELS並みの高エネルギー分解能で分光し、しかも複数X線をパラレル検出する今までにないユニークなX線分光器です。
更に、WDS同様高エネルギー分解能・低バックグランドですので、窒素、硼素、炭素など超軽元素の微量成分検出にも高い効果を発揮します。
また遷移金属の状態分析をパラレルに実施することもできます。

電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）もしくは走査電子顕微鏡（SEM）に搭載します。既に世界中の多くの研究機関や民間企業で、最先端材料研究に使われており、今大注目の元素分析装置です。