エネルギー分散型X線分析装置 AZtecTEM
￥16,500,000～
透過電子顕微鏡(TEM)用エネルギー分散型X線分析装置(EDS)。新設計により感度が向上した大面積SDD、UltimMaxとの組み合わせで、業界初・ライブでのX線イメージングを実現。元素マップによる視野探しで分析にかかる時間を大幅に短縮。進化したドリフト補正機能AutoLockとピーク分離マップTruMap(オプション)で原子レベルの高分解能分析にも対応。独自の膜厚測定プログラムも搭載し、さらに定量精度も向上しています。
■ ソフトウェア AZtecEnergyTEM SP, AZtecEnergyTEM Standard, AZtecEnergyTEM Advanced
■ 検出器 UltimMax TLE, UltimMax TEM, Xplore TEM
オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
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科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売及び保守管理