QUANTAXシリーズ
●SEM/TEM用EDS: XFlash®
独自の試料直上型検出器の圧倒的な検出立体角と高速プロセッサにより低電流時でも高速元素マッピング
●WDS: XSense
低エネルギー領域で最高の感度、自動で光学系調整を最適化
●EBSD: e-Flash
オンアクシスTKDによる唯一無二の空間分解能、カラー反射電子像で集合組織を確認
●SEM内顕微XRF: XTrace2
SEMと同一視野を微量元素分析、膜厚分析
●統合ソフトウェア: ESPRIT
EDS/EBSDなどの複合分析を実現

M4 TORNADO/M4 TORNADO PLUSシリーズ
●M4 TORNADOシリーズ
エネルギー分散型微小部蛍光X線分析装置、NaからUまで非破壊・非接触分析を実現し、最大19cm x 16cmの元素マッピングが可能
●M4 TORNADO PLUSシリーズ
超軽元素Cから測定が可能なハイスペックモデル、凹凸試料の測定に最適な特許アパーチャーマネージメントシステムを標準装備、あらゆる分野の高感度・高解像度の元素マッピングを実現