●EDS : XFlash^®
　効率の良い軽元素検出・低加速電圧分析を行うための最適な高エネルギー分解能保有
　スリムライン検出器技術により低電流時でも高いカウントレートを実現

●WDS : XSense
　低エネルギー領域において最良の感度を提供
　理想的な計測条件を提供するための、自動光学系調整機能搭載

●EBSD : e-Flash
　高速-高解像度の両立を実現した新世代EBSD
　ARGUS^™ FSEシステムと組み合わせることで高速、高効率なデータ収集が可能

●µ-XRF on SEM : XTrace
　SEMと同一視野からXRF測定が可能なEDS-XRF統合システム
　EDSでは検出不可能な微量元素も容易に検出可能

●ESPRIT 2
　EDS, WDS, EBSD, µ-XRFのデータを統合解析し
　新たな付加価値を生み出す新世代解析ソフトウエア

●微小部蛍光X線分析装置 M4 TORNADO
　凹凸のある試料や大型試料に対応、Cから測定ができ、微小部分析や高速で広範囲の元素マッピングが可能