Ｘ線集光レンズのポリキャピラリーレンズ採用でX線ビームを集束し高い放射密度を達成する事ができます。
これにより数十μｍ程度の非常に小さな測定スポットで高精度で膜厚が測定ができます。
また，検出器もSDDの採用でAuやPdの数nmの測定を可能にしました。

◆FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ
XDV-µシリーズの通常モデル
φ20μmのポリキャピラリーレンズ(オプションφ10μm)を搭載した微小部用測定器

◆FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ WAFER
ウェハーの測定に特化した専用機
大型ステージの採用により、最大12インチのウェハーも全面測定が可能
専用のバキュームチャックを使えば測定に影響を及ぼす「反り」が無く測定可能

◆FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ PCB
PCBのような薄く大きな製品を測定する為に、大型XY電動ステージを採用！
これまでは切断しなければ測定できなかった製品も、切らずに測定可能