ColorSEMの利用により、走査電子顕微鏡(SEM)の持つさまざまな試料信号に加えて、EDS分析による組成情報を1枚の画像に表示します。試料表面の凹凸や元素情報といったSEMのコントラストはそのままに、その画像には新たに元素の識別が色で表示されます。連続スキャンの画像に常に組成情報が加わることで、試料の性質をいち早く理解することができ、試料全体の把握を容易にするだけでなく、どの部位を詳細に観察するべきかの判断も容易にします。

分解能（高真空）：
3nm@1kV (電界放出電子銃タイプ)、
8nm@3kV (熱電子銃タイプ)
オプション：EDS、EBSP、WDS、加熱、冷却、引張り、ガス反応