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Thermo Scientific デュアルビーム Helios Plasma FIB シリーズ

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Ga+ イオンカラムに代わり、プラズマイオンカラムを搭載した全く新しい高速処理型高性能FIB-SEM デュアルビームです。イオン源としてXe+ のみ使用のタイプと、Xe+ 、Ar+ 、N+ 、O+ の4種を1台のカラムに搭載し、スイッチングして使用するタイプがあります。Ga+ に比べて40倍以上の電流が利用でき、広域の断面観察や三次元観察、そしてTEM試料作製に有効です。

• 最大イオン電流量: 2500nA
• SEMイメージ分解能: 0.7nm@1kV(最適WD)
• オプション: プロトタイピング、3D観察 (イメージ、EDS、EBSD)、試料冷却、大気 非暴露試料搬送

サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ 日本エフイー・アイ(株)この会社の他の製品も見る

営業品目

透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、デュアルビーム (FIB-SEM) 装置