Thermo Scientific Helios 5 シリーズ
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FIBの加工精度、そしてそのプロセスをモニタリングするSEM性能を世界最高性能に高めたGa+ イオン型高性能デュアルビームシステムです。TEM試料作製では、作製工程のすべてを自動化させ誰でも簡単に高品質のTEM試料が作製できるように改良したため、生産性を飛躍的に向上させました。
・SEMイメージ分解能:0.7nm@1kV, 1.0nm@500V, 1.2nm@200V (全て最短WD)
・最低ダメージ処理イオンエネルギー:500V
・オプション:大気非暴露試料搬送、試料冷却

サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ 日本エフイー・アイ(株)
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- E-Mail JPTOK.sales-jp@thermofisher.com
営業品目
透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、デュアルビーム (FIB-SEM) 装置