HR-SPMは、周波数検出方式を採用した新世代の走査型プローブ顕微鏡です。従来のSPM(走査型プローブ顕微鏡) /AFM(原子間力顕微鏡)は、一般にAM(振幅変調)方式ですが、FM(周波数変調)方式は、原理的に高感度測定法であり、より高い分解能での撮像が可能となります。大気中・液中における超高分解能観察だけでなく、固液界面の水和・溶媒和の観察が初めて可能となりました。
観察モード　標準：コンタクト
　　　　　　　　　ダイナミック
　　　　　　　　　(AM方式、FM方式)
　　　　　　　　　水平力(LFM)
分解能　　　水平：0.2nm
垂直：0.01nm