イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザー（TRIFT型アナライザー）を継承しつつ、当社XPSで実績のある試料搬送機構を採用、またユニークなイオンビームテクノロジーにより完全ターンキー帯電中和が可能になりました。多試料の自動分析を、低ノイズかつ高感度で実現します。さらに、「パラレルイメージングMS/MS」やガスクラスターイオン銃など、目的に応じて多彩なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。

【多彩なオプション】
パラレルイメージングMS/MS、アルゴンガスクラスターイオン銃、C₆₀イオン銃、セシウムイオン銃、アルゴン/酸素スパッタイオン銃、試料冷却・加熱機構、試料高温加熱機構、トランスファーベッセル、酸素リーク機構、FIB（Focused Ion Beam)専用銃、FIBソフトウェア、前処理室、各種特殊ホルダー、オフラインデータ処理システム、Static SIMS Library ほか