AZtecHKLは、走査型電子顕微鏡(SEM)用の結晶方位(EBSD)解析システムです。オックスフォード・インストゥルメンツ社独自のTru-Iエンジンにより鉱物などの複雑な結晶系の解析から、わずかな格子定数の違いによる結晶相の分離まで、様々な解析に対応します。分析条件の自動設定機能やナビゲータなど、初心者の方も気軽に使い始めることができます。予測型と反応型を組み合わせた特殊なドリフト補正機能AutoLock^*で、正確な粒径計算や粒界マッピングができます。
解析用ソフトウエアAZtecCrystalでグレイン解析や様々なEBSDマップ、ODF解析等のさらに詳しい解析も可能です。
EDS分析システム AZtecLiveと共通プラットフォームで動作しますので、EDS/EBSDマップ同時収集・解析も可能です。Large Area Mapping^*によるミリメートルオーダーの広域マッピングの自動収集・解析や組成情報と組み合わせた結晶同定TruPhase^*など、インテグレーションによる機能拡張も充実しています。EBSD検出器はSymmetry S2・C-Swift・C-Nanoのラインナップ。いずれも業界初のCMOS技術を搭載、スピードと高い角度分解能を両立。結晶情報に重要な結晶方位コントラスト像が得られる反射電子検出器は標準搭載です。
*オプション