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WEB科学機器総覧

フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置 PHI GENESIS

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 自動試料交換による多試料自動分析、高感度アナライザーによる高速・高感度・微小XPS分析で強みを発揮します。様々な技術(走査型マイクロX線、全自動ロボティクス搬送系、絶縁物自動中和分析、クラスターイオンエッチング銃による有機物の深さ方向分析、高輝度イオンエッチング銃による無機物深さ方向分析)すべてを本装置一つに組み込み、金属、半導体、セラミックス、有機物などのあらゆる素材の最先端XPS分析を1台で実現します。さらに、従来よりも情報深さが深い、CrKα線によるHAXPES分析も可能です。

【多彩なオプション】
紫外光電子分光分析(UPS)、低エネルギー逆光電子分光分析(LEIPS)、走査型オージェ電子分光分析(AES)、反射電子エネルギー損失分光分析(REELS)、非単色化MgKα線、Arモノマー/Ar-GCIBデュアルソースイオン銃、Ar-GCIBクラスターサイズ計測器、C60イオン銃、光電子取込立体角制限アパーチャ、試料加熱冷却機構、4端子電圧印加機構、トランスファーベッセル ほか

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営業品目

各種表面分析装置[走査型X線光電子分光分析装置(XPS)、
硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)、二次イオン質量分析装置(SIMS)、
走査型オージェ電子分光分析装置(AES)]、各種オプション ほか