より早く、より簡単に観察分析データを取得したいニーズに応え、スループットの向上を図るために当社InTouchScope^TMの操作性をさらに進化させました。
●SimpleSEM：SEMの取得条件と視野の選択を行うだけで、あとは自動でSEM像の取得を行う機能です。ルーティンワークの効率化が可能です。
●低真空ハイブリッド二次電子検出器：本検出器は、二次電子が残量ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出することで、低真空下でも詳細な凹凸情報が得られます。
●ステーションナビゲーションシステムLS：従来機種の4倍のエリア（200㎜×200㎜）の光学像の取得が可能です。