試料の前処理や保管を行う際、試料表面に付着したハイドロカーボンを観察前にUV照射により除去し、観察時のコンタミネーション形成を低減するクリーナーです。
少ないダメージで試料表面の汚損を除去することが可能なため、ダメージに敏感な試料へも適応可能です。
波長185 nmと254 nmのUV照射光によりチャンバー内残存酸素分子からオゾンおよび活性酸素（原子状酸素）を生成します。試料表面のハイドロカーボン分子と活性酸素が反応し、CO₂、H₂Oなどの揮発性分子となり、試料表面から剥離します。
発生したオゾンと剥離した揮発性分子はオゾン除外装置を含むドライ真空排気系により、安全にチャンバー外に排出されます。

◎特長
　■コンタミネーション低減により本来の試料表面が観察可能
　■高スループットでフレキシブルなセットアップが可能
　■省スペース卓上形
　■長時間クリーニングが可能
　■ドライ真空排気系