ナノ3D光干渉計測システムVS1800は、光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。

表面形状計測の新たなスタンダード

材料の平たん化や薄膜化、微細構造化が急速に進み、従来、一般的であったSPM（走査型プローブ顕微鏡）や触針式粗さ計、レーザー顕微鏡などを上回る計測精度が求められています。光の干渉現象を利用する走査型白色干渉顕微鏡（測定原理説明）を、より使いやすく、手軽に導入できるようにしたナノ3D光干渉計測システムVS1800では、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。また、従来の線粗さによる測定では、「測定箇所による結果のバラつき」と「走査方向に依存する結果のバラつき」が大きな課題となっています。VS1800は、その対応として定められた表面形状の評価方法である国際規格ISO25178を参照にしたパラメータ算出により、表面形状測定の新たなスタンダードとして注目を集めています。