電子ビーム光学系の改良、電源の低ノイズ化により高空間分解能オージェ分析を可能にしました。また、アコースティックエンクロージャーの導入により高空間分解能測定に不可欠な分析環境を安定して提供することができます。
　電子銃とCMA分光器が同軸であるため、ナノファイバーや、FIB断面測定に代表される凹凸試料測定においても影の影響を受けずに容易に分析することができます。
　さらにフローティング型イオン銃の搭載により、分解能の高い深さ方向分析や絶縁物分析時の帯電中和が可能です。また、高エネルギー分解能測定にも対応しています。