inLux SEM-ラマンインターフェースは走査電子顕微鏡(SEM)に接続し、SEMイメージングとラマンイメージングを同時に行うことのできる製品です。これまでSEMおよびSEM-EDSの分析に対してラマン分光法により化学情報と構造情報を付加させることが可能となり、サンプルのより深い理解と確度の高い情報を得ることが可能となります。 inLuxは革新的な先端プローブ設計により電子線と同軸でのレーザー照射を可能とし、試料室内でのサンプルの移動を必要とせずSEM観察からラマン測定までシームレスな測定を実現しました。 プローブはチャンバー内に格納可能な設計となっており、他のSEM機能や分析手法と非干渉であり、各メーカーから販売されている幅広い試料室およびポートに対応しているため高い汎用性を有しています。 inLuxのプローブには最小ステップ50nmと超高精密性移動を可能とするエンコーダが搭載されており空間分解能1µmをきる空間分解能を実現可能です。