圧倒的シェアと歴史を持つFIB-SEMであるThermo Scientific™ Helios™ シリーズは、Ga⁺ イオンFIBの加工精度、そしてそのプロセスをモニタリングするSEM性能を世界最高水準に高めた高性能DualBeamシステムです。TEM観察試料やアトムプローブの試料作製工程を完全自動化させることも可能になりました。また、G^a+イオンカラムに代わり、プラズマイオンカラムを搭載した全く新しい高速処理型高性能FIB-SEM デュアルビームも選択可能です。イオン源としてXe⁺ のみ使用のタイプと、Xe⁺ 、Ar⁺ 、N⁺ 、O⁺ の4種を1台のカラムに搭載し、スイッチングして使用するタイプがあります。Ga⁺ に比べて40倍以上の電流が利用でき、広域の断面観察や三次元観察、そしてTEM試料作製に有効です。ミリメートルオーダーでの加工が可能なフェムト秒レーザーも搭載可能です。