Thermo Scientific Hypulse X線光電子分光システムは、従来のAr単原子イオン銃やArガスクラスターイオン銃だけではなく、フェムト秒レーザーを搭載しており、レーザーアブレーションを利用した低損傷XPS深さ方向分析が可能です。また、試料搬送や測定を高度に自動化することにより操作性を徹底的に追及し、高性能と高操作性を両立したXPS装置です。
・フェムト秒レーザーを用いた低損傷XPS深さ方向分析
・Ar単原子イオン、Arガスクラスターイオン兼用MAGCISイオン銃搭載
・X線スポットサイズ可変：10μm～400μm
・業界最高クラスの高感度：最高感度6.5Mcps以上（Ag3d5/2の半値幅1.0eV時）
・試料搬送から測定・解析を自動化し、操作性を徹底追及
・イオン散乱分光（ISS）、反射電子エネルギー損失分光（REELS）標準。紫外光電子分光（UPS）オプション、
トランスファーベッセル、サンプル加熱ホルダー、サンプルバイアスホルダーに対応