SEM観察条件から1μAオーダーに至る全てのビーム電流条件で卓越した空間分解能性能を発揮し、最大3.0μAの大ビーム電流が得られる独自技術のFE電子光学系を搭載。島津伝統の高性能X線分光器との融合により、超高分解能、超高感度、超高スループットの分析を可能にした世界最高峰のFE-EPMAです。
● 電子源：ショットキーエミッタ
● SE像分解能：3nm
● 分析条件SE像分解能(＠10kV)
　 照射電流 10nA：20nm
　 　　同 100nA：50nm
　 　　同 1μA：150nm
● 最大照射電流：3μA (＠30kV)
● 分析元素範囲： 4 Be ～ 92 U
● 最大分光器数：5台
● X線取り出し角度：52.5度