SPM-8100FMは、周波数変調（FM）方式を採用した新時代の走査型プローブ顕微鏡/原子間力顕微鏡です。一般的な装置は振幅変調（AM）方式ですが、FM方式の方が原理的に高感度であり、より高い分解能での観察が可能となります。大気中・液中における超高分解能観察だけでなく、固液界面の水和・溶媒和の観察が初めて可能となりました。
観察モード　標準：コンタクト
　　　　　　　　　ダイナミック
　　　　　　　　　(AM方式、FM方式)
　　　　　　　　　水平力(LFM)
分解能　　　水平：0.2nm
　　　　　　 　垂直：0.01nm