TOC-1000e Sは、最先端半導体製造における超純水中の微量な有機汚染を高感度に監視する超純水用オンラインTOC計です。水銀フリーのエキシマランプが発する高エネルギー短波長光をActive Path構造で効率的に試料水に照射することで、従来検出が難しかった尿素などの難分解性有機物の酸化・検出が可能です。測定流路はエキシマランプと導電率計を直列に配置したシンプルな構成で、予期せぬ不純物の混入を即座に捉え、歩留まり改善に貢献します。
約3kgと小型軽量なボディで、設置・保守が容易なうえ、「1年間メンテナンスフリー」を実現。大画面タッチパネル、視認性の良いインジケータにより、装置状態を直感的に把握できます。
●測定成分：TOC
●測定原理：UV酸化・導電率測定方式
●測定範囲：0～500μg/L
●検出限界：0.02μg/L
●大きさ：W270✕H180✕D140mm
●質量：約3.0kg