素材を選ばずナノの世界へ素早くアプローチ！　使いやすさと高性能を究めた最高級FE-SEMです。低加速でも1nmオーダーの分解能で高感度の像観察ができるため、生体やソフトマテリアル、ナノマテリアルなどの非導電性試料やビームダメージに弱い試料でも表面の微細構造を明瞭に観察できます。倍率2倍からの超広域観察モード、絞り交換不要の電子光学系、3Dモデル衝突回避システムなどの特長ある機能が簡単で安心な操作を可能にします。
●電子源：ショットキーエミッタ
●SE像分解能：0.9 nm (加速電圧 15 keV)
　　　　　　　1.3 nm (加速電圧 1 keV)
●撮影倍率：×2 ～ ×2,000,000
●照射電流：2 pA ～ 400 nA
●検出器：In-Chamber E-T検出器(SE)
In-Chamber BSE検出器(LE-BSE)
In-Beam アキシャル検出器
In-Beam マルチ検出器
●試料ステージ：5軸電動
●最大試料サイズ：LMH：100mmΦ×T65mm
　　　　　　 GMU：180mmΦ×T133mm
●最大試料重量：LMH：1,000g
　　　　　 GMU：8,000g