走査電子顕微鏡(SEM)用の結晶方位(EBSD)解析システム。
Tru-Iエンジンで鉱物等の複雑な結晶系の解析やわずかな格子定数の違いによる結晶相の分離など様々な解析に対応。条件ファイルやナビゲータで初心者でも簡単操作。解析用ソフトウェアAZtecCrystalで後処理も容易。MapSweeper^*パターンマッチングによる指数付けも可。予測型と反応型を組み合わせた特殊なドリフト補正機能AutoLock^*で、粒径計算や粒界マップも正確。プラットフォームはEDS分析システムAZtecLiveと共通。EDS/EBSDマップ同時収集・解析も可能。Large Area Mapping^*によるmmオーダーの広域マップの自動収集・解析や組成情報と組み合わせた結晶同定TruPhase^*などの機能拡張も充実。EBSDカメラはSymmetry S3・C-Swift+・C-Nano+のラインナップ。いずれも業界初のCMOS技術を搭載、スピードと高い角度分解能を両立。結晶方位コントラスト像が得られる反射電子検出器は標準搭載。
^*オプション