X線単結晶方位測定装置 s-Laue
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【 特 長 】
省スペースで取り扱いが簡単なラウエカメラです。
◎単結晶材料のX線回折(ラウエ斑点)画像を高速に取得できます。
◎空冷X線発生装置と高感度検出器が一体となった卓上型です。
◎X線を垂直下向きに入射するため試料の設置が簡単です。
◎顕微鏡を用いて精密な位置合わせが可能です。
◎小型・軽量で省スペース化を実現しました。
【 使 用 例 】
◎主面方位の測定
◎切り出し方位の確認・調整
◎結晶性評価
◎結晶成長、加工関連
◎半導体デバイス製造・開発
【 仕 様 】
X線 :W 30kV/1.5mA 空冷
入射方向 :垂直下向き
照射径 :φ1.0mm(標準コリメータ搭載時)
測定時間 :60秒 ※代表例
試料ステージ:6軸(θ/Tan./Rad./X/Y/Z)
外形寸法 :W224×D364×H480mm
本体重量 :約24kg


パルステック工業(株)
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営業品目
ポータブル型X線残留応力測定装置 μ-X360s
非接触硬さムラスキャナ muraR
高速波面センサ PWS-500/PWS-1000
透明体厚み・うねり計測装置 HM-1000