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加熱試料ステージUNIT

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本製品は、テラヘルツ分光装置『TeraProspecor』に搭載可能な透過測定用加熱ステージUNITです。 試料部分は断熱のため、真空に引いて使用します。真空引きは試料をセットした後に手動にて行ない、真空で封じ切ったUNITを試料室にセットして測定します。 温度は試料を接触させる金属部の温度をモニターし、電熱ヒーターより制御します。 排熱用にチラーを使用し、冷却水を循環して使用します。

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営業品目

・THz分光分析装置及び赤外線分光装置の設計・製造
・半導体製造装置、検査装置及び液晶パネル製造装置の設計・製造
・各種検査システム及び搬送システムの開発・設計