ブルカーの電子顕微鏡用分析装置は、様々な試料に対して多彩な組成分析・構造解析を提供。
■QUANTAX EDS
XFlashは、様々なSEM/TEMにおいて最適な検出位置に設定可能で素子サイズ、ウィンドウ/ウィンドウレスなど複数のオプションを選択可能。FlatQUADは独自試料直上型デザインによって従来のEDSでは不可能な検出感度を誇り、低加速、低ダメージで高速マッピングが可能。
■QUANTAX EBSD eWARP, eFlash
直接電子検出方式を採用したeWARPは最速14,400fpsを達成。10 kVの低加速電圧で高分解能、高速でEBSDマッピングが可能。汎用タイプのeFlashは、独自のOPTIMUS 2検出器でSEM内オンアクシス透過型EBSDを実現。
■QUANTAX μXRF XTrace
XTraceはSEMチャンバーにX線ソースを搭載し、Bruker EDSシステムを使い、SEM内でのμXRFデータ取得が可能。