ブルカーの電子顕微鏡用分析装置は、様々な試料に対して多彩な組成分析・構造解析を提供。これらの分析技術はすべてESPRITソフトウェアに完全に統合され、相補的な手法で得られた測定結果を簡単に組み合わせ、最高の分析結果を得ることができる。
■QUANTAX EDS XFlash
EDS XFlashは、スリムラインデザインによりさまざまなSEM/TEMにおいて検出位置を最適化。素子サイズ、ウィンドウ/ウィンドウレス仕様など複数のオプションを取りそろえ、期待されるニーズに柔軟に対応。FlatQUADは独自の試料直上型デザインによって、従来のEDSでは不可能な検出感度を誇り、低加速、低ダメージで高速マッピングが可能。
■QUANTAX EBSD eWARP, eFlash
直接電子検出方式を採用したeWARPは最速14,400fpsを達成。10 kVの低加速電圧でこれまでよりも高分解能、高速でebsdマッピングが可能。特許取得済みの新ARGUSシステムは、最大350,000ピクセル/秒の高速、高品質のFSE/BSEイメージを提供。 in-situに理想的なeFlashは、SEM上で透過型EBSD(TKD)を実現する独自のOPTIMUS 2検出器によって空間分解能2nmを達成し、さらにARGUSイメージングシステムによりFSE/BSEイメージを同時取得してEBSDマッピングをサポート。
■QUANTAX WDS XSense
平行ビーム設計による大きな立体角は、低エネルギーX線シグナルを高効率で取得。最大6つの分光結晶を備え、70 eV以上のエネルギー領域で優れた感度を発揮。
■QUANTAX マイクロXRF XTrace
XTraceは、SEM上でマイクロXRF分析を可能に。スポットサイズ最小10μmのマイクロフォーカスX線源を備え、40keVまでのエネルギー範囲を高感度で分析可能で、10ppmの微量元素も検出。Rapid Stageとのコンビネーションで広範囲、高スピードマッピングも可能。