光の波長を変化させて測定を行なう分光エリプソメトリー測定では、膜厚と屈折率を求めることが一般的ですが、それ以外にも表面や界面の粗さ、結晶の度合、合金比率やドーピング濃度、位相差なども求めることが出来ます。
複数の入射角で測定する多入射角分光エリプソメトリーではさらに、膜の深さ方向での屈折率の変化や光学的異方性、および試料の光学定数に変化を及ぼすあらゆる物理的変化に感度が出てきます。
弊社は分光エリプソメトリーの専門会社として、使い易く高精度な装置を提供しております。