製品情報

ブラシスクラバー

¥4,725,000~¥16,800,000

本機はウエハー,ガラス基板を回転
受け台にセットし回転させながら,
洗剤または純水を用いロールブラシ
でスクラブ洗浄後スピン乾燥を行う。

型式
OSC-2401(4”)~OSC-1201(12”)
BSC-2402(4”)~BSC-1202(12”)
特長
・強固な汚れも除去できる
・表面のぬれ性を良くする
・片面(OSC型),両面(BSC型)が選択
・条件に合わせブラシが選択
・メガソニック取りつけ(option)

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営業品目

ウエハー洗浄装置・スピンドライヤー・スピンコーター・現像装置・エッチング装置・石英管洗浄装置・クリーンベンチ・ドラフトチャンバー・ブラシスクラバー・
剥離装置・IPAベーパー乾燥機・各種保管庫