スピンコーター
￥950,000～￥3,500,000
本装置はウエハー，ガラス基板に
レジスト，フラックス，保護膜等を
スピンコートする装置です。ディス
ペンスは手動。ワークの着脱も手動。
卓上型の為，研究・実験・少量生産
・量産前パイロットに最適です。
型式 MSC-200(4”)
～MSC-700(450角)
特長
・レシピ(標準) 3program 10step
・回転数(標準) Max 5000rpm
・モーター ACサーボ
・操作盤 液晶タッチパネル
・チャンバーの清掃可
ジャパンクリエイト(株)
- 〒359-1167 埼玉県所沢市林 1-203-4
- TEL 04-2938-3111 FAX 04-2938-3116
- URL http://www.japancreate.co.jp
- E-Mail info@japancreate.co.jp
営業品目
ウエハー洗浄装置・スピンドライヤー・スピンコーター・現像装置・エッチング装置・石英管洗浄装置・クリーンベンチ・ドラフトチャンバー・ブラシスクラバー・
剥離装置・IPAベーパー乾燥機・各種保管庫