製品情報

スピンコーター

¥950,000~¥3,500,000

本装置はウエハー,ガラス基板に
レジスト,フラックス,保護膜等を
スピンコートする装置です。ディス
ペンスは手動。ワークの着脱も手動。
卓上型の為,研究・実験・少量生産
・量産前パイロットに最適です。
型式 MSC-200(4”)
~MSC-700(450角)
特長
・レシピ(標準) 3program 10step
・回転数(標準) Max 5000rpm
・モーター ACサーボ
・操作盤 液晶タッチパネル
・チャンバーの清掃可

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営業品目

ウエハー洗浄装置・スピンドライヤー・スピンコーター・現像装置・エッチング装置・石英管洗浄装置・クリーンベンチ・ドラフトチャンバー・ブラシスクラバー・
剥離装置・IPAベーパー乾燥機・各種保管庫