製品情報

手動式ウエハー洗浄装置

¥6,500,000~¥10,000,000

本機はクリーンドラフト内でカセット
に入れたウエハーを薬液で処理し,
純水でリンス後スピンドライヤーで
乾燥する装置です。

型式 HWC-4004S
~HWC-4008

特長
・SC-1槽は石英,Heater,Megasonic
ポンプ,フィルター
・SC-2槽はTeflon,Heater,ポンプ,
フィルター
・純水リンス槽はQDR方式と
US付オーバーフロー槽でPVC製

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営業品目

ウエハー洗浄装置・スピンドライヤー・スピンコーター・現像装置・エッチング装置・石英管洗浄装置・クリーンベンチ・ドラフトチャンバー・ブラシスクラバー・
剥離装置・IPAベーパー乾燥機・各種保管庫