本機はウエハー，ガラス基板等を
ターンテーブル上に数枚置き，スピン
乾燥，スプレー現像，エッチング等，
多目的に使用できる卓上型スピン
で，研究，少量生産に適しています。
型式 FS-250(テーブルφ250)
～FS-600(テーブルφ600)

特長
・枚葉で処理する為カセット不要
・ワークの大小，形状は不問
・ワークはテーブルに任意にセット
・樹脂製の為，耐蝕性に優れている。