製品情報

ドラフトチャンバー

¥1,050,000~¥4,725,000

本機はエッチング,剥離,洗浄等の
ケミカル処理作業を安全に行う為の
装置です。

型式 DC-1000型(W1000mm)
~DC-2800型(W2800mm)


特長
・硬質塩ビ製で耐蝕性に優れている
・局所排気の効率が良い
・前面扉はバランスウエイト方式
・扉は任意の箇所で停止
・排ガス,スクラバー組み込み可
・任意の処理槽組み込み可

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営業品目

ウエハー洗浄装置・スピンドライヤー・スピンコーター・現像装置・エッチング装置・石英管洗浄装置・クリーンベンチ・ドラフトチャンバー・ブラシスクラバー・
剥離装置・IPAベーパー乾燥機・各種保管庫