プラズマ装置 PRシリーズ PDCシリーズ
￥2,321,000～
半導体製造における、アッシング、クリーニング、エッチングを行うことができるプラズマ装置です。プラズマスーパークリーニング法は半導体IC組立て工程でダイアタッチ、ワイヤボンディング、モールディングの性能を大幅に向上します。その他電子材料等の表面処理技術や新素材分野における表面処理、改質、界面活性、マイクロ研磨などに幅広く利用できる研究用～生産用の装置です。PR300型はアスベスト分析前処理用に最適です。
・高周波出力:
MAX200W(PR200)
MAX300W(PR300/301)
MAX500W(PR500/510)
MAX600W（PDCシリーズ）
MAX1000W（PB/Vシリーズ）
搬送機付などの特注品の承ります。
ヤマト科学(株)
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理科学機器、試験研究設備、分析・計測機器、試験・検査機器、医療機器の開発・
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