脱気ユニットは、純水中の窒素、酸素、炭酸ガスなどの溶存気体又は気泡を、気液分離膜 （気体透過膜）を使用して取り除く装置です。 仕組みは気液分離モジュールを真空状態にして、真空ポンプを介して気体（ガス）のみが 外部に排出されます。 純水・超純水を循環送液する送液ポンプも装備されています。 生菌、微生物の低減、半導体関連では洗浄などにも使用されています。 通常使用流量：100L/hr（1.6L/min） 水温　　　　：5～40℃（凍結不可） 脱気効率　　：80％以上（空気飽和で溶存酸素8.11pm) 重量　　　　：約19㎏ 電源　　　　：AC100V ※処理量50L/hr や1000L/hrも御座います。