パーク・システムズのNX10AFMは、新たにSmartScanという誰でも簡単に計測を可能とする画期的なAFMのOSを搭載した最新型の高性能AFMです。ボーイングエラーの無いXYとZスキャナの完全独立構造と、9kHzを超えるZサーボバンド幅のZスキャナによる高速ノンコンタクト計測を可能としました。業界最高水準の低ノイズで高分解能表面粗さ計測、傾斜構角の正確な計測、その他様々な物性計測、及び液中の生体試料観察も可能です。

・SmartScan による簡単自動測定機能
・XY、Z完全独立機構
・クローズドループXYスキャナ：50µm×50µm
・Zスキャナ：15µm
・取得画像：AFM（大気・液中）、ICM（液中）