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WEB科学機器総覧

プラズマ・クリーニング装置 EXAM型

¥16,500,000~

WETからDRYへと要求の中,多目的ドライプラズマ・クリーニング装置“EXAM”は電子部品等の有機物除去を始めとする基板クリーニングや,金属酸化膜の除去,表面改質による濡れ性向上・接着性の向上,更にエッチングやアッシング装置としてもご活用頂けます。
・処理ステージ:□250(又は□450)
・プラズマモード:ハード&ソフト
・処理方式   :枚葉処理
・高周波ユニット:300W・500W・1kW
・装置寸法  :550×1050×1285mm
・ガス系   :O2・Ar・CF4
・排気装置付
・オプション :冷却ステージ他

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営業品目

超音波洗浄機,超音波加工機,微粒分散機,プラズマ・クリーニング装置,
環境試験機,電気炉,真空装置,クリーンルーム用品,実験室設備,化学プラント,
其他科学機器総合取扱及び設計製作