本製品はパワーデバイス向けで注目されているSiC、GaNやレーザーダイオード向けのInP、GaAsで使用可能な欠陥検査装置です。測定対象である、ピーク波長、ピーク強度や半値幅等に加え、ウェハ反りや膜厚等の自動マッピングも可能な装置です。ウェハサイズ12inchまで対応可能で、大口径化に応えるラインナップ、量産要求への自動搬送対応仕様もございます。顕微PLで数µmレベルの微小欠陥の測定・マッピングも可能で、量産・R&Dフェーズでの品質向上に向けて寄与いたします。

■測定項目：PW、PI、II、FWHM、AI含有量、膜厚、ウェハ反り
■ウェハサイズ：2-8inch、8-12inch
■FOUP、SMIF、オープンカセット対応
■SECS/GEMによるHost通信