300mmまでの半導体ウェーハに対応したナノスケール赤外分光システムです。化学特性情報だけでなく、半導体研究の機械特性や形状測定、故障解析、欠陥評価などをこれまでにない高ナノ分解能を提供します。Park NX-IR R300は、最先端のナノスケール赤外分光法と原子間力顕微鏡を統合しており、Molecular Vista社の光誘起力顕微鏡（PiFM）モジュールを Park NX20 300mm AFMプラットフォームに取り入れています。10nmの空間分解能で化学物質の同定ができる分光法と原子間力顕微鏡の両方を備えたシステムとなっています。ノンコンタクト技術を用いたことにより、ダメージフリーの分光スキャンと業界最高レベルの空間分解能を実現しています。さらに、サブオングストロームの高さ精度で3Dトポグラフィーとナノメートルの横分解能で材料をイメージングできる顕微鏡システムです。

・大型サンプル、300mm半導体ウェーハ対応
・Park PiFM分光法採用