⼤型フラットパネルディスプレイのためのAFMとして、300mmを超えるサンプルのナノレベルの測定を可能にしました。Park NX-TSHの独自のチップスキャニングヘッドとガントリー型ブリッジシステムで、OLED、LCD、フォトマスクなどにおいても、信頼性の⾼い⾼解像度のAFM像を取得することができます。

※仕様はカスタマイズできますので、お気軽にご相談ください。