原子間力顕微鏡(AFM)Park NX20 & Park NX20 Lite
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Park NX20は、世界で最も正確な大型試料用AFMとして、データの正確性においては半導体業界でも非常に高く評価されています。
Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェーハの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。リーズナブルな価格設定と充実した機能により、大型試料用AFMとしては業界で最も経済的な製品の一つとなります。
・XY、Z完全独立機構
・クローズドループ XY スキャナ:100 µm × 100 µm
・Zスキャナ:15µm
パーク・システムズ・ジャパン(株)
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営業品目
Park Systems Corp.(Suwon, Korea)製 走査プローブ顕微鏡(SPM)、イメージングエリプソメーター、アクティブ除振台