観察自動化を支援する高分解能分析SEM
高輝度ショットキーエミッター搭載により、極低加速観察から大電流による高速分析までを実現します。
低真空モードでの観察も可能な、対象試料と観察手法を拡張するFE-SEMです。

【特長】
● 低加速超高分解能性能(0.9 nm@1 kV)
● WD=6 mmでのEDS測定が可能。分析の空間分解能を向上させます。
● 最大40,960 x 30,720 pixelまでの高解像度データを取得可能^*
● 最大6チャンネルの信号を同時取り込み可能
● ワークフローに応じた自動撮影を支援するソフトウェア”EM Flow Creator”を搭載可能^*

【仕様】
分解能：0.8 nm (15 kV), 0.9 nm　(1 kV)
倍率：　x20 ～ x2,000,000（写真倍率）
低真空モード：　5～300 Pa

＊ オプション