超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡SU8700
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観察自動化を支援する高分解能分析SEM
高輝度ショットキーエミッター搭載により、極低加速観察から大電流による高速分析までを実現します。
低真空モードでの観察も可能な、対象試料と観察手法を拡張するFE-SEMです。
【特長】
● 低加速超高分解能性能(0.9 nm@1 kV)
● WD=6 mmでのEDS測定が可能。分析の空間分解能を向上させます。
● 最大40,960 x 30,720 pixelまでの高解像度データを取得可能*
● 最大6チャンネルの信号を同時取り込み可能
● ワークフローに応じた自動撮影を支援するソフトウェア”EM Flow Creator”を搭載可能*
【仕様】
分解能:0.8 nm (15 kV), 0.9 nm (1 kV)
倍率: x20 ~ x2,000,000(写真倍率)
低真空モード: 5~300 Pa
* オプション
(株)日立ハイテク
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営業品目
電子顕微鏡,電子顕微鏡周辺装置、走査プローブ顕微鏡、白色干渉顕微鏡、DNAシーケンサ