波面計測用センサを搭載したレンズユニットの検査・調整システムです。

【　特長　】
◎ダイナミックレンジが広く、干渉計では困難な大きな収差を持つ光学素子が計測できます。
◎可干渉性の影響を受けないため、様々な光源(LED、LD等)や波長での計測が可能です。
◎振動や温度の影響を受けにくいため、生産工程でも安定した計測が可能です。
◎必要に応じて各種アクセサリ(ビームエキスパンダ、集光レンズ、参照球面など)を選択できます。

【　計測事例　】
◎撮像レンズ、ｆθレンズ、プリズム、ミラー、ビームスプリッタ、波長板
◎撮像系光学のレンズ、光学素子等の透過/反射波面収差計測
◎量産工程でのレンズ空気間調整用の調整機
◎ウェーハやフィルム、MEMSミラーのうねり解析
◎レーザ加工機、レーザマーカ、ダイシングソー
◎レーザ顕微鏡、対物レンズ
◎レーザ光源評価、調整、自動補正
◎フォトマスク、マスクレス露光装置、描画装置、マスクアライナー