ウェーハ製造に不可欠な高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFMシステムPark 3DMは、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁イメージング、および高精度での角度測定用に設計された完全自動AFMシステムです。Zヘッドのユニークな傾斜構造により、通常のAFMでは計測不可能な、アンダーカットおよびオーバーハング等の構造に対応できます。試料のカットやマウント、コーティングなどといったプレパレーションは不要で、側壁のラインプロファイル、粗さ、クリティカルアングルおよびCD計測のすべてが可能です。

・ヘッド傾斜角度0°, ±19°, ±38°
・XY、Z完全分離型スキャナ
・最大300㎜ウェーハ対応