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WEB科学機器総覧

LF真空プラズマクリーナー CIONEシリーズ

¥3,680,000~

LF周波数の真空プラズマクリーナーで、ガラス・プラスチック・
金・チタン等の表面処理(親水化)に適した装置です。
全ての操作がタッチパネルで設定でき、レシピを作成すれば
レシピを呼び出してスタートボタンを押すだけの簡単操作です。
また、全てのプロセスをパネルでリアルタイムで確認できます。
標準でガス導入用のマスフローコントローラーを1つ装備して
いて、オプションで3つ追加することができます。
ロータリーポンプ等の付属品も標準でセットされていますので、
すぐにご利用頂けます。

<用途>
・ガラス・プラスチック・金・チタン・カーボン等の親水化
・PDMSのボンディング(ガラス・PDMS同士等)
・有機物のクリーニング
・SEM・TEM等の前処理
・電極反転機能を標準装備
・RIEモードでナノエッチングが可能

<仕様>
チャンバーサイズ   W140×D200×H110mm
周波数/出力     20KHz~100KHz(可変)/MAX100W
ガス導入口     1(MFC) MAX4(オプション)
装置サイズ     W460×D500(620)×H580mm
電   源     110~120VAC、50/60Hz

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営業品目

理化学機器の製造・輸入・販売