Si、Ge、GaAs、SiC、水晶、LN、LT、サファイヤ、ルチル、蛍石、その他さまざまな単結晶材料の「結晶の不完全性の評価」「積層欠陥像」「転位像」「析出物の点状像」「不純物濃度変化による、ゆるい縞状コントラスト」をＸ線トポグラフ（Ｘ線回折顕微法）により非破壊で調べることができるシステムです。

・高輝度微小Ｘ線光源採用
・Ｘ線トポグラフに特化されたＸ線ミラー光学系
・2波長（Mo線源/Cu線源）自動切換機能
・高解像度・高分解能Ｘ線CCDカメラ
・3Dセクショントポグラフ
・結晶欠陥自動解析ソフトウェア