革新的な光学式変位センサであるIDS 3010は、高い精度と速度及びコンパクトさを提供します。特許取得のファイバベース干渉測定原理は、比類のない高い精度と安定性を保証し、またコンパクトな設計により、設備や装置への組み込みが容易です。ファイバベースのセンサヘッドは、超高真空や極低温、高磁場など極端環境下でも使用可能です。

【主な仕様】
●測定バンド幅：10 MHz
●センサ軸数：3
●動作距離, WD：0 ... 5000 mm
●最小センサ分解能：1 pm
●最小センサ再現性：2 nm
●最高ターゲット速度：2 m/s