attocube レーザー干渉計変位センサ
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革新的な光学式変位センサであるIDS 3010は、高い精度と速度及びコンパクトさを提供します。特許取得のファイバベース干渉測定原理は、比類のない高い精度と安定性を保証し、またコンパクトな設計により、設備や装置への組み込みが容易です。ファイバベースのセンサヘッドは、超高真空や極低温、高磁場など極端環境下でも使用可能です。
【主な仕様】
●測定バンド幅:10 MHz
●センサ軸数:3
●動作距離, WD:0 ... 5000 mm
●最小センサ分解能:1 pm
●最小センサ再現性:2 nm
●最高ターゲット速度:2 m/s

(株)日本レーザー
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営業品目
レーザー発振器各種,レーザー関連装置・機器,レーザー応用計測装置,
レーザー応用加工装置,その他光学機器・装置