革新的な光学式変位センサであるIDS 3010は、高い精度と速度及びコンパクトさを提供します。特許取得のファイバベース干渉測定原理は、比類のない高い精度と安定性を保証し、またコンパクトな設計により、設備や装置への組み込みが容易です。ファイバベースのセンサヘッドは、超高真空や極低温、高磁場など極端環境下でも使用可能です。 ＜主な仕様＞ ・測定バンド幅　10 MHz ・センサ軸数　3 ・動作距離, WD　0 ... 5000 mm ・最小センサ分解能　1 pm ・最小センサ再現性　2 nm ・最高ターゲット速度　2 m/s