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attocube レーザー干渉計変位センサ

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革新的な光学式変位センサであるIDS 3010は、高い精度と速度及びコンパクトさを提供します。特許取得のファイバベース干渉測定原理は、比類のない高い精度と安定性を保証し、またコンパクトな設計により、設備や装置への組み込みが容易です。ファイバベースのセンサヘッドは、超高真空や極低温、高磁場など極端環境下でも使用可能です。 <主な仕様> ・測定バンド幅 10 MHz ・センサ軸数 3 ・動作距離, WD 0 ... 5000 mm ・最小センサ分解能 1 pm ・最小センサ再現性 2 nm ・最高ターゲット速度 2 m/s

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営業品目

レーザー発振器各種,レーザー関連装置・機器,レーザー応用計測装置,
レーザー応用加工装置,その他光学機器・装置