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CSI社SPM(広帯域C-AFM, シングルパスKFM)

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レジスコープは、高感度と高分解能で10桁以上の抵抗値/電流値を測定できるユニークなSPMシステムです。
また、インターミッテントコンタクトモードと組み合わせることにより、柔らかい材料の抵抗値/電流値マッピングを行うことが可能であるため、有機太陽電池等の表面研究に有効なツールです。

HD-KFM (高精細・シングルパスKFM)
CSIによって開発されたHD-KFMは、カンチレバーの第2の振動モードを用いてフィードバック制御を行うという利点があります。シングルパスKFMを実現しています。表面ポテンシャルによって生成される電場をより近接したプローブで検出することを可能にしています。従来の方法に比べ、抜群の空間分解能を達成しています。ごく微小エリア、または二次元材料の表面電位マッピングに最適です。どちらの機能も4インチウエハを割らずに測定できます。

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営業品目

レーザー発振器各種,レーザー関連装置・機器,レーザー応用計測装置,
レーザー応用加工装置,その他光学機器・装置