【特長】 膜厚・段差測定、うねり・そり測定に最適
高精度/高分解能/優れた安定性/唯一の国産測定機
世界唯一の真直度保証。独自技術の直動式検出器
微少測定力で軟質試料面の測定も可能
※3次元表面性状、Y軸の電動化、微小角度測定等は御相談ください

【主仕様】
・触針先端半径　：標準 2µmR～（最小100 nmR(特注)）
・測定力（針圧）：1mg ～50mg (オプション：0.05mg ～50mg)
・段差再現性(1σ)：0.3nm以下
・真直度精度 ：0.2µm/100mm以内
・垂直分解能 ：0.1nm (1Å)
・Ｚ測定レンジ ：600µm
・最大測定距離 ：100mm