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WEB科学機器総覧

膜厚・段差・微細形状測定機 ET200A

¥5,700,000~

【特長】 膜厚・段差測定、うねり・そり測定に最適
高精度/高分解能/優れた安定性/唯一の国産測定機
世界唯一の真直度保証。独自技術の直動式検出器
微少測定力で軟質試料面の測定も可能
※3次元表面性状、Y軸の電動化、微小角度測定等は御相談ください

【主仕様】
・触針先端半径 :標準 2µmR~(最小100 nmR(特注))
・測定力(針圧):1mg ~50mg (オプション:0.05mg ~50mg)
・段差再現性(1σ):0.3nm以下
・真直度精度 :0.2µm/100mm以内
・垂直分解能 :0.1nm (1Å)
・Z測定レンジ :600µm
・最大測定距離 :100mm

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営業品目

膜厚・微細形状測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、真円度測定機、
多関節型3次元測定機べクトロン、配向膜検査装置、高速ダイボンダ、
高アスペクト・穴溝深さ測定装置、ガラススクライバ、ガラスブレーカ