MSAG、MSAG_DSは、ICP-MSを用いたガス試料中の金属不純物の
定量分析に必須の試料導入装置です。
レーザーアブレーション、GED、粒径分布測定に適用できます。

高性能シリンジポンプで 1 μL/min の標準液をネブライザーに直接供給
することで、標準液をほぼ100%プラズマに導入することができます。

標準液を導入して得られた感度（cps）から、プラズマに導入される
各金属元素の絶対量（ag/sec）および原子数（atoms/sec）が計算で
求められます。
従来のAu等のナノパーティクルを用いたスプレーチャンバーの
エアロゾル透過効率の計測が不要です。
ガス中不純物の正確な定量分析や、粒子状金属不純物の粒径分布
結果を得られます。

標準液接液部は、フッ素樹脂等を使用したメタルフリー構造のため、
金属汚染を防ぎます。