日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。
数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。
多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。

◎特長
①多目的大型試料室を標準搭載し、大型試料の解析に対応
　　SU3800 ： 最大試料寸法　200mm径、最大搭載可能高さ　80mm
　　SU3900 ： 最大試料寸法　300mm径、最大搭載可能高さ　130mm
②さまざまな自動機能の強化により、操作性がさらに進化
　■オート調整のアルゴリズム改良。待ち時間が１／３以下。(※S-3700N比)
　■独自のIntelligent Filament Technology（IFT）を搭載
　　フィラメントの状態を自動で監視・制御することで、フィラメントの長寿命化を実現。
　■複数領域の広域観察を可能にする、Multi Zigzag （オプション）
③解析目的に応じた検出器、ソリューションを用意
　■多様な観察ニーズに対応する検出器。
　■多目的大型試料室により豊富なアクセサリを搭載可能。
　　SEM/EDSインテグレーションシステム
　　3次元モデル表示・計測ウェアHitachi map 3D
　　画像計測ソフトウェアImage Pro^®

◎仕様
■二次電子分解能　3.0nm（加速電圧30kV、WD＝5mm、高真空モード）
　　 　　　　 15.0nm（加速電圧1kV、WD＝5mm、高真空モード）
■反射電子像分解能　4.0nm（加速電圧30kV、WD＝5mm、低真空モード）
■倍率　×5～×300,000（写真倍率）　×7～×800,000（実表示倍率）
■加速電圧　0.3～30kV